（馬錦玉 18151073719）

半導(dǎo)體行業(yè)超純水系統(tǒng)介紹：

概述：半導(dǎo)體、集成電路芯片及封裝、液晶顯示、高精度線路板、光電器件、各種電子器件、微電子工業(yè)、大規(guī)模、超大規(guī)模集成電路需要大量的純水，高純水，超純水清洗半成品，成品，集成電路的集成度越高，線寬越窄，對(duì)水質(zhì)的要求也越高，目前電子工業(yè)部把電子級(jí)水質(zhì)技術(shù)分為五個(gè)行業(yè)等級(jí)，分別為18MΩ.cm、15MΩ.cm、10MΩ.cm、2MΩ.cm、5MΩ.cm以區(qū)分不同水質(zhì)。

半導(dǎo)體行業(yè)超純水設(shè)備工藝流程：

1.、原水箱→原水泵→多介質(zhì)過(guò)濾→軟化過(guò)濾器→精密過(guò)濾器→一級(jí)增壓泵→一級(jí)反滲透→中間水箱→二級(jí)增壓泵→二級(jí)反滲透→純化水箱→EDI輸送泵→EDI設(shè)備→超純水箱→輸送泵→使用點(diǎn) (≥15MΩ.CM)

2.原水箱→原水泵→多介質(zhì)過(guò)濾→軟化過(guò)濾→精密過(guò)濾器→一級(jí)增壓泵→一級(jí)反滲透→PH調(diào)節(jié)→中間水箱→二級(jí)增壓泵→二級(jí)反滲透→純化水箱→EDI輸送泵→EDI設(shè)備→超純水箱→供水水泵→紫外線殺菌→拋光樹(shù)脂→0.22μm過(guò)濾→使用點(diǎn) (≥18MΩ.CM)

應(yīng)用領(lǐng)域：

1. 半導(dǎo)體材料、器件、印刷電路板和集成電路成品、半成品用超純水

2. 超純材料和超純化學(xué)試劑勾兌用超純水

3. 汽車(chē)、家電表面拋光處理

4. 光電子產(chǎn)品

5. 光學(xué)鏡片，鏡頭清洗超純水設(shè)備

泰州半導(dǎo)體行業(yè)超純水/超純水設(shè)備/超純水設(shè)備廠家/生產(chǎn)制造